＜測定法・センサ-5＞ 磁気微粒子固定型磁気センサーのプローブ及びその製造方法　 ：1999年12月3日 ：鈴木仁・益子信郎・松永是 ：特許第3007921号 ：「電気・電子」「その他」 ：NICT・松永是 ：「制御・ソフトウェア」「検査・検出」「洗浄・除去」 磁気力顕微鏡や磁気記録媒体を高分解能に 磁気力顕微鏡などで利用されている従来のプローブは、磁性薄膜が全体に一様に蒸着され、先端部以外の薄膜の磁化がサンプルの磁場と相互作用をするため、分解能が悪くなっていた。また、磁性薄膜において局所的な磁気双極子を作り出すことは本質的に困難であった。 本発明では、基板上に磁性細菌より取り出した磁気微粒子上を、紫外線硬化接着性樹脂が先端部の表面にコーティングされたシリコン等で形成した探針を走査させ、少数個の磁気微粒子を先端部に付着させる。その探針を強力な磁場中で磁気微粒子の方向を揃えながら結合させ、磁気微粒子を探針上に固定する。 ●磁気センサー ●磁気力顕微鏡 ●磁気記録媒体の読み出し装置 高分解能の磁気力顕微鏡像を得ることができ磁性体研究に有用である。磁気記録媒体の高密度化が可能である。