＜測定法・センサ-16＞ 非接触表面粗さ評価装置　 ：2001年10月26日 ：川西 哲也 ：特許第3243525号 ：「機械・加工」 ：NICT ：「検査・検出」 あらゆる金属に利用できる汎用性 非接触で試料面の粗さを評価する方法としては、原子間力顕微鏡により評価面を走査する方法や、光を照射して散乱光の特性から評価する方法がある。しかし、評価に時間を要したり、汎用性に乏しかった。そこで本発明者は、散乱ブリュースタ角を利用した誘電体の表面評価方法を提案した。けれど、可視光に対する屈折率が虚数となる金属には適用できなかった。 レーザ光源からＳ偏波成分とＰ偏波成分を含む電磁波を、高屈折率体の平坦面から空気を介して試料へ照射する。散乱光をブリュースタ角で受け、偏光ビームスプリッタにより分離し、光検出器で受光したＳ偏波成分とＰ偏波成分の比率から、試料の表面の粗さを判定する。試料の特性に左右されることなく、屈折率が虚数となる種々の金属に適用することができ、短時間で広い範囲の表面検査を行うことが可能である。また、照射波の波長を変化させることで、評価精度を調整することもできる。 ●表面粗さ測定装置 誘電率が虚数の金属も非接触で迅速に表面粗さを測定できる。