電池駆動式イオンポンプを適用した試料搬送導入装置の性能
小林英一， 田中秀吉， 岡島敏浩 - 表面科学学術講演会要旨集 2015 年 …, 2015 - jstage.jst.go.jp
表面分析において, 大気暴露による表面汚染の問題は深刻である. この問題を回避するため, 真空中
に試料を封じ込め, 装置間を移送するための試料搬送導入装置の開発が行なわれている. しかし, 超…
に試料を封じ込め, 装置間を移送するための試料搬送導入装置の開発が行なわれている. しかし, 超…
電池駆動式イオンポンプを適用した試料搬送導入装置の性能
小林英一， 田中秀吉， 岡島敏浩 - Journal of the Vacuum Society of …, 2016 - jstage.jst.go.jp
We have developed a compact sample transfer vessel with a battery-driven ion pump. The
size of the vessel is about 67 cm in length, and 7.8 kg in weight. The ion pump can operate for …
size of the vessel is about 67 cm in length, and 7.8 kg in weight. The ion pump can operate for …
[CITATION][C] 電池駆動式イオンポンプを適用した試料搬送導入装置の性能; 電池駆動式イオンポンプを適用した試料搬送導入装置の性能; Performance of a Sample Transfer …
E Kobayashi, S Tanaka… - Journal of the Vacuum …, 2016 - ui.adsabs.harvard.edu
電池駆動式イオンポンプを適用した試料搬送導入装置の性能;電池駆動式イオンポンプを適用した
試料搬送導入装置の性能;Performance of a Sample Transfer Vessel with a Battery-Driven Ion …
試料搬送導入装置の性能;Performance of a Sample Transfer Vessel with a Battery-Driven Ion …