フェルデイナンドペパー　　李　佳　　足立　進　　礒川悌次郎　　高田庸介
松井伸之　　益子信郎
Ferdinand Peper, LEE Jia, ADACHI Susumu , ISOKAWA Teijiro,
TAKADA Yousuke, MATSUI Nobuyuki, and MASHIKO Shinro

　
要旨
　 エレクトロニクスの小型化が進むなか､倫理素子及び配線のバターン寸法はナノメートルのオーダーにまで迫ろうとしている。こうした素子を製造するに当たっては、ナノ世界を律する厳しい要求条件に適したアーキテクチャが必要となる｡主な課題は次のとおりである。（1）ナノ回路の製造方法(光リソグラフィーなどの現行技術はナノスケールでは通用しない)､ (2)高集積密度に伴う多大な発熱を低減する方法､(3)ナノエレクトロニクスの製造造及び動作において必ず発生するエラーの扱い。本稿では､これらの要求条件を満たすアーキテクチャの研究成果について概説する。