非発揮性機能性分子の薄膜を基板に付ける新技術「スプレー・ジェット法」
著者・共著 ： 山田俊樹、篠原秀則、鈴木仁、上門敏也、三木秀樹、益子信郎
雑誌・書籍名 ： 電子材料
巻・頁 ： Vol.44, No.7, pp40-44.
概要
真空蒸着には適さない非発揮性分子の溶液のミストから高真空中で分子ビームを生成する技術「スプレー・ジェット法」の研究・開発を行っている。本稿では、この技術を用いた分析型の分子ビーム装置、ならびに分子ビーム堆積装置を紹介する。さらに、特殊な分子クラスターの基板上への堆積実験、また、最近行ったスプレー・ジェット導入源の改良についても紹介する。最後に本手法の特徴と応用をまとめる