本稿では、ナノ光構造を駆使することで電気光学変調器と深紫外LEDの大幅な高効率化を実証した結果について報告する．深紫外LEDに関しては、深紫外LEDの効率向上を阻んでいる低光取出し効率の問題に対し、有機ナノインプリント技術を活用した、素子内の全反射を抑制する新たなナノ光取出し構造をデザイン・開発することで、波長265nmで発光する深紫外LEDの大幅な高効率化や高出力化に成功した結果について紹介する．

We report on design, fabrication and performance of electro-optic (EO) modulators and DUV-LEDs with nanophotonic structures. High light extraction DUV AlGaN based LEDs on transparent AlN substrates are proposed and demonstrated. We have experimentally demonstrated the DUV-LEDs with the high output power and high quantum efficiency as a result of the nanoimprinted high light extraction nanophotonic structure.

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