＜通信・アンテナ-23＞ 超伝導体多層構造体及びその製造方法並びに超伝導体装置　 ：2002年10月4日 ：川上彰・三木茂人・王鎮 ：特許第3355371号 ：「電気・電子」「無機材料」 ：NICT ：「制御・ソフトウェア」 THz周波数領域での低損失材料 THz周波数領域での受信機や発振器は、入出力部とTHz素子との結合回路を低損失材料で構成する必要がある。そのため、低損失である超電導材料の導入が求められている。 本発明では、基板上の第一超電導体層に高周波スパッタリングにより形成した薄い第一誘電体層と、その第一誘電体層に直流反応性スパッタリングにより厚く形成した第二誘電体層と、その第二誘電体層に形成した第二超電導体層を備えることで、THz帯の超伝導集積に利用できる超伝導多層構造体をつくった。 ●THz周波数領域での受信機及び発振器 地球環境計測や電波天文学の分野において、THz周波数領域での受信機や発振器の開発が望まれている。