＜測定法・センサ-8＞ 非接触表面粗さ測定方法　 ：1999年12月10日 ：川西哲也 ：特許第3010213号 ：「機械・加工」 ：NICT ：「検査・検出」「機械・部品の製造」 ガラス表面等の粗さを非接触で評価 光学素子（ガラスやプラスチック等の透明な材料）や絶縁材料などの表面粗さを評価する方法で、例えば原子間力顕微鏡により非接触で評価面を走査し評価する方法や、評価面に光を照射してその散乱光の性質から評価する方法がある。しかし、評価に時間がかかったり、汎用性が乏しいなど問題が多い。 本発明は誘電体である資料の表面粗さの評価を行う技術であり、評価面にＳ偏波およびＰ偏波を含む電磁波を照射し、その散乱波のＳ偏波成分とＰ偏波成分とを比較する。そして、予め記憶してある評価基準データと照合することによって評価面の粗さを評価する。 ●ガラス表面の表面粗さ測定 ガラス材料の表面粗さを短時間で評価でき、製品の全数検査に適した汎用性の高い装置が提供できる。照射する電磁波波長を変化させて精度を調整することもできる。