＜測定法・センサ-9＞ 評価面の粗さ測定装置　 ：2002年9月13日 ：川西哲也 ：特許第3348198号 ：「機械・加工」 ：NICT ：「検査・検出」 短時間で測定可能なハードディスク検査装置 試料表面の粗さを測定する場合には、プローブを評価面に近接させて３次元形状を実測し、そのデータに基づいて評価面の粗さを示す２つのパラメータ、「表面粗さ」と「相関距離」とを演算により求めている。 本発明によれば、「表面粗さ」と「相関距離」の各パラメータのみを短時間で効率よく測定することが可能であり、それぞれの測定方法を詳細に開示している。例えば、試料にＰ偏波成分のみからなるレーザーを照射し、その散乱波の検出から表面粗さを演算する手法を創出した。 ●ハードディスク検査装置 ０．１μｍ程度の凹凸が問題となるハードディスクの磁気記録面検査においては、従来の高精度な反面、検査に長時間要する方法に比して、本発明を利用すると十分な精度で検査可能であると共に、短時間で全数の検査が可能になり、品質の向上に寄与する。