委託研究 ／ contract research
ナノプロセス用多価イオン源を用いたナノプロセス技術の調査研究
委託研究概要
ナノ機構グループでは、ナノメートルサイズの構造を作る技術、その構造が持っている特性をデバイス化する技術の研究を行っている。
そのためには、基板表面の清浄度や平坦度を上げ、表面に１0nm以下の構造を作る必要がある。そのために、原子から数個から数十個の電子を取り除いたイオンビーム（多価イオンビーム）を利用することを検討する。
価数選別された多価イオンビームを、イオンレンズ系を用いて形状を整え、50nm（あるいはそれ以下）直径の単孔を通し試料表面に照射する。多価イオン照射ではイオン１個当たり数10個を越える２次電子が放出されるため、電子放出現象は確実に検出器（マイクロチャンネルプレートなど）で検知され、単一イオン入射を正確に確認できる。そして、その確認のあと試料を支持しているナノメーター・ピエゾスライド機構を用いて、所定の照射位置まで移動させる。
この手法により単一イオン入射点を空間制御しながら点在させ、操作する技術を検討する。また、単一多価イオン入射と整列量子ドット作成技術の発展として、量子ドットレーザーなどのフォトニックデバイス創製への展開をはかる。
相手先機関名
神戸大学理学部
